Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3, 96934-25

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 предназначена для воспроизведения и передачи единицы абсолютного давления с целью поверки и калибровки средств измерений низкого абсолютного давления.

Установка может применяться в качестве рабочего эталона 2-го разряда согласно ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 1-10-8 до 1 • 103 Па».

Описание

К настоящему типу средств измерений относится установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 с заводским № 08 (далее-установка).

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра. Для создания и поддержания давления в измерительной камере установка оснащена системой создания и поддержания давления. Для осуществления десорбции измерительной камеры установка оснащена системой прогрева и терморегуляции.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении абсолютного давления эталонными вакуумметрами абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере установки. Регулирование давления в камере осуществляется при помощи клапанов и высокоточного натекателя. Управление установкой осуществляется с помощью органов управления, расположенных на лицевой панели ее корпуса.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. В измерительной камере установки установлен эталонный ионизационный вакуумметр AIGX зав. № 230437294 (поддиапазон измерений от 1 • 10-5 до 1-10-2 Па) в комплекте с контроллером TIC и деформационно-термопарный эталонный вакуумметр ВДТО-3, зав.№ 070 с преобразователем ПДДТО-1, зав. № 066 (поддиапазон измерений от V10-2 до 1-103 Па). Система создания и поддержания давления установки состоит из форвакуумного насоса GWSP150 и высоковакуумного турбомолекулярного насоса FF-100/300, индикаторного вакуумметра APG, а также высокоточного натекателя и клапанов для возможности регулирования давления в измерительной камере установки. На передней панели установки располагаются индикаторы для контроля параметров работы установки, дисплеи для регистрации измеренных значений и органы управления установкой.

Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.

Заводской номер установки нанесен в виде цифрового обозначения способом цифровой печати на маркировочную табличку установки, расположенную на передней панели корпуса установки.

Нанесение знака поверки на корпус установки не предусмотрено.

Общий вид установки, место нанесения заводского номера и знака утверждения типа представлено на рисунке 1. Маркировочная табличка представлена на рисунке на рисунке 2.

Место нанесения заводского номера

Место нанесения знака утверждения типа

Рисунок 1 — Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3

Рисунок 2 — Маркировочная табличка установки

Программное обеспечение

Установка имеет встроенное программное обеспечение, представляющее собой программное обеспечение (далее — ПО) контроллера TIC из комплекта эталонного вакуумметра AIGX и ПО эталонного вакуумметра ВДТО-3. ПО установки выполняет следующие функции:

— выбора единиц измерений давления;

— приема, сбора, обработки и отображения измерительной информации, полученной от эталонных вакуумметров из состава установки;

— автоматической диагностики состояния эталонных вакуумметров, вывод на экран контроллера TIC или эталонного вакуумметра ВДТО-3 сообщений об ошибках.

Метрологически значимым является встроенное ПО установки. Влияние метрологически значимой части ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.

Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «средний» в соответствии с Рекомендацией Р 50.2.077-2014.

И дентификационные данные ПО установки представлены в Таблице 1.

Таблица 1 — Идентификационные данные ПО установки

Идентификационные данные (признаки) ПО	Значение
Название эталонного вакуумметра	AIGX	ВДТО-3
Идентификационное наименование ПО	—	_
Номер версии (идентификационный номер) ПО	D39700640M	2.01

Технические характеристики

Таблица 2 — Метрологические характеристики
Наименование характеристики	Значение
Диапазон измерений абсолютного давления, Па	от V10-5 до 1-103
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % — в поддиапазоне от 1-10’5 до 140-2 Па включ. — в поддиапазоне св. 140-2 до 1-103 Па	± 15 ± 10
Таблица 3 — Технические характеристики
Наименование характеристики	Значение
Параметры питания от сети переменного тока: — напряжение питания переменного тока, В — частота переменного тока, Гц	220 ± 22 50 ± 1
Остаточное давление, Па, не более	5Л0-6
Условия эксплуатации: — температура окружающей среды, °С — относительная влажность, %, не более — атмосферное давление, кПа	от +15 до +25 80 от 84 до 106,7
Габаритные размеры, мм, не более: — длина — ширина — высота	1600 800 1700
Масса, кг, не более	300

аблица 4 — Показатели надежности

Наименование характеристики	Значение
Срок службы, лет	10

Знак утверждения типа

нанесен способом наклейки на корпус установки и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации установки.

Комплектность

Таблица 5 — Комплектность средства измерений

Наименование	Обозначение	Кол-во
Установка вакуумметрическая эталонная УВЭ-3	—	1 шт.
Руководство по эксплуатации	—	1 экз.
Паспорт	—	1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в разделе 2 «Использование по назначению» документа «Установка вакуумметрическая эталонная УВЭ-3. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 1-10’8 до 1403 Па