Анализатор частиц лазерный Нанорефлекс CLSM (далее по тексту — анализатор) предназначен для измерений размеров светорассеивающих частиц на поверхности полированных полупроводниковых пластин без топологического рисунка.
Анализатор частиц лазерный Нанорефлекс CLSM (далее по тексту — анализатор) предназначен для измерений размеров светорассеивающих частиц на поверхности полированных полупроводниковых пластин без топологического рисунка.
Принцип работы анализатора основан на измерении интенсивности рассеянного дефектами на поверхности исследуемого объекта света. Исследуемый объект освещается лучом лазера. Наличие на поверхности объекта дефектов и загрязнений, а также неоднородность кристаллической структуры объекта на глубине проникновения света вызывают упругое рассеяние света. Рассеянный на поверхности объекта свет собирается с помощью оптической системы и регистрируется с помощью фотоэлектронного умножителя. Полученные данные передаются на управляющий компьютер, где данные обрабатываются и выводятся в различной форме.
Питание анализатора осуществляется от сети переменного тока, связь с компьютером — через интерфейс USB.
Нанесение знака поверки на анализатор не предусмотрено.
Анализатор состоит из измерительного блока и персонального компьютера. Общий вид анализатора представлен на рисунке 1.
Заводской номер имеет цифровое обозначение 024, нанесен в виде штампованной бирки на корпусе анализатора в месте, указанном на рисунке 2. Пломбировка анализатора не предусмотрена.
Рисунок 1 — Общий вид анализатора
Рисунок 2 — Место нанесения заводского номера анализатора и знака утверждения типа
Управление анализатором, приём и обработка данных осуществляются с помощью персонального компьютера (ПК) со специализированным программным обеспечением (ПО).
ПО осуществляет управление работой анализатора, в том числе сбор и анализ данных о распределении частиц по размерам, обработку и хранение данных.
ПО анализатора и результаты измерений защищены от случайных изменений, а также от изменений в результате несанкционированного доступа.
Уровень защиты ПО «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 — Идентификационные данные (признаки) ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Нанорефлекс CLSM |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | V2.3.26.126 |
| Цифровой идентификатор программного обеспечения | _ |
аблица 2 — Метрологические характеристики анализатора
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений размеров обнаруживаемых частиц, мкм | от 0,10 до 1,00 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений размеров обнаруживаемых частиц, % | ±20,00 |
аблица 3 — Основные технические характеристики анализатора
| Наименование характеристики | Значение |
| Относительное СКО количества обнаруживаемых частиц размером 0,1 мкм (не менее 500 частиц на пластине), %, не более | 10,00 |
| Относительное СКО количества обнаруживаемых частиц размером 0,3 мкм (не менее 500 частиц на пластине), %, не более | 10,00 |
| Габаритные размеры (длинахглубинахвысота), мм, не более | 410x360x300 |
| Масса, кг, не более | 9 |
| Условия эксплуатации:
— температура окружающей среды, °С — относительная влажность воздуха, %, не более — атмосферное давление, кПа |
от +18 до +24 60 от 75,0 до 101,4 |
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и в виде наклейки на корпус анализатора.
Таблица 4 — Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Анализатор частиц лазерный | Нанорефлекс CLSM | 1 шт. |
| Кремниевые пластины диаметром 200 мм | _ | 6 шт. |
| Кремниевые пластины диаметром 300 мм | _ | 6 шт. |
| Компьютер | _ | 1 шт. |
| Вакуумный насос | _ | 1 шт. |
| Центровочный конус для пластин диаметром 200 мм | _ | 1 шт. |
| Центровочный конус для пластин диаметром 300 мм | _ | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | РЕФ.000000.005 РЭ | 1 экз. |
приведены в разделе 2 «Использование по назначению» руководства по эксплуатации.
Локальная поверочная схема для средств измерений размеров дефектов на кремниевых пластинах в диапазоне значений от 0,1 до 1,0 мкм, утвержденная ФГБУ «ВНИИОФИ» «02» февраля 2022 г.
