Поверка эллипсометров — официально, с занесением в ФГИС «Аршин»

Эллипсометрия используется для измерения оптических параметров поверхности и толщины тонких пленок. Поверка эллипсометров проводится в целях утверждения типа средств измерений и в целях утверждения типа в соответствии с 102‑ФЗ. Основные технические характеристики, такие как пределы допускаемой абсолютной погрешности, контролируются при первичной и периодической поверке. Это гарантирует достоверность результатов измерений в научных исследованиях и промышленности.

Утверждения типа эллипсометров требует внесения в государственный реестр после успешной поверки. Пределов допускаемой абсолютной погрешности и технические характеристики прибора должны соответствовать методикам, утверждённым Росстандартом. В области метрологии действуют требования 102‑ФЗ и ГОСТ Р 8.654‑2015 для оптико‑физических измерений.

Периодические поверки эллипсометров проводятся с интервалом 1–2 года в зависимости от условий эксплуатации. Первичной и периодических поверок подлежат все эллипсометры после ремонта или длительного хранения. Время между поверками указано в паспорте изделия. Для приборов, работающих в лабораториях научных исследований, рекомендуется ежегодная поверка.

Поверка и калибровка — разные процедуры: поверка обязательна и даёт юридическое заключение о пригодности, а калибровка средств измерений добровольна. Поверка калибровка эллипсометров могут выполняться совместно, однако калибровка не заменяет официальную поверку. Калибровка средств помогает уточнить показания, но не вносит данные в реестр.

Измерители оптических толщины покрытий и анализаторы поверхности проходят проверку погрешности измерений в спектральном диапазоне. Определение абсолютной погрешности проводится с помощью эталона единицы толщины. Пределы допускаемой абсолютной погрешности сравниваются с паспортными значениями. Допускаемой абсолютной погрешности эллипсометра не должна превышать 0,5 нм.

Проведение поверки включает проверку измерительных каналов, программного обеспечения и оптических узлов. Измерительные эллипсометры помещаются в климатическую камеру для оценки влияния относительной влажности. Поверка приборов выполняется с применением меры толщины и эталонных образцов. Метод сравнения с государственными эталонами обеспечивает точности измерений до 0,1 нм.

Услуги по поверке эллипсометров предлагает наш центр, аккредитованный в области метрологии. На сайте указаны стоимость поверки и образцы договора. Заказать поверку можно через форму обратной связи. Новости об акциях публикуются на сайте. Время выполнения поверки составляет от 3 рабочих дней.

Эксплуатация эллипсометра без действующей поверки влечёт штраф по КоАП РФ до 150 000 рублей. Возможность получения недостоверных данных о толщине тонких пленок и оптических параметрах поверхности исключается только при своевременной поверке. Результаты поверки игнорировать недопустимо в научных исследованиях и материаловедении. Погрешности измерений могут превышать допускаемые пределы.

Испытания проводятся с использованием меры толщины, анализаторов оптико‑физических свойств и приборов вертикального контроля. Образцы с аттестованными значениями толщины покрытий позволяют оценить абсолютную погрешность. Оборудование нашего центра имеет необходимые сертификаты. Поверхность образцов должна быть чистой и однородной. Контроля условий окружающей среды требует соблюдение относительной влажности.

Результаты поверки оформляются свидетельством и протоколом, которые вносятся в Федеральный информационный фонд. Указанных в свидетельстве данных достаточно для предъявления контролирующим органам. Стоимость поверки включает оформление всех документов. Техническая документация на эллипсометр дополняется отметкой о поверке. Наш центр имеет лицензию на проведение поверочных работ.