Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее — микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Микроскопы сканирующие электронные измерительные EM (далее — микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса, персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Измерительный блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратнорассеянных (ОРЭ) электронов. Встроенная оптическая навигационная камера позволяет оперативно находить место для анализа на исследуемом образце.
Вакуумная система микроскопа обеспечивает остаточное давление менее 10-2 Па в режиме высокого вакуума (High Vacuum) и остаточное давление в камере образцов в диапазоне от 10 до 30 Па в режиме низкого вакуума (Low Vacuum) для наблюдения непроводящих объектов.
Микроскопы выпускаются в следующих модификациях: EM-40, EM-30AXN+, EM-30N+, которые различаются в основном конструкцией предметного столика и наличием энергодисперсионного рентгеновского спектрометра для локального электронно-зондового элементного анализа (модификация EM-30AXN+). Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр для модификации EM-40 поставляется опционально.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
