Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau (далее — интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 используются для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 280 мм.
Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau (далее — интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей. В случае применения в качестве эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 используются для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 280 мм.
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления с плоской насадкой и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной насадки, закрепленной в приборе, делится на два. Один волновой фронт — опорный — отражается от поверхности эталонной насадки непосредственно назад в интерферометр. Другой — рабочий волновой фронт — искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным волновым фронтом. Анализ получаемой интерференционной картины (интерферограммы) дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности. В интерферометрах реализован метод «фазовых шагов» для измерений и обработки интерферограмм.
Интерферометры изготавливают четырёх модификаций, отличающихся диапазоном диаметров измеряемых плоских деталей: U-Optics IH-Fizeau 100, U-Optics IH-Fizeau 150, U-Optics IH-Fizeau 300 и U-Optics IH-Fizeau 450 (табл. 3).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Заводской номер наносится на табличку печатным методом, расположенную на задней части интерферометра и имеет буквенно-цифровое обозначение.
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
a)
б)
в)
Рисунок 1 — Внешний вид интерферометров лазерных U-Optics IH-Fizeau: а) U-Optics IH-Fizeau 100; б) U-Optics IH-Fizeau 150; в) U-Optics IH-Fizeau 300;
г) U-Optics IH-Fizeau 450
г)
Рисунок 2 — Общий вид маркировочной таблички с указанием места нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Интерферометры имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от интерферометра.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений — «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 — Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | PhaseSight |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 8.0 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО |
Таблица 2 — Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | |
| Модификации | U-Optics IH-Fizeau 100,
U-Optics IH-Fizeau 150 |
U-Optics IH-Fizeau 300,
U-Optics IH-Fizeau 450 |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,02 до 2,00 | от 0,02 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | ±0,032 (X/20) | ±0,042 (X/15) |
| где X = 0,633 мкм — длина волны лазерного излучения | ||
Таблица 3 — Технические характеристики интерферометров модификаций
U-Optics IH-Fizeau-100, U-Optics IH-Fizeau-150, U-Optics IH-Fizeau-300, U-Optics IH-Fizeau-450
| Наименование характеристики | Значение | |||
| Модификация | U-Optics IH-Fizeau 100 | U-Optics IH-Fizeau 150 | U-Optics IH-Fizeau 300 | U-Optics IH-Fizeau 450 |
| Исполнение схемы | горизонтальное | |||
| Максимальный диаметр измеряемых плоских оптических поверхностей, мм | 100 | 150 | 300 | 300 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012
Длина волны лазера, нм, не более — He-Ne лазер |
ЗА
633 |
|||
| Наименование характеристики | Значение | |||
| Габаритные размеры, мм, не более — длина | 746 | 795 | 4000 | 3500 |
| — ширина | 340 | 400 | 1500 | 1500 |
| — высота | 284 | 264 | 1500 | 1500 |
Таблица 4 — Условия эксплуатации интерферометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Температура окружающей среды, °C | от +19 до +21 |
| Относительная влажность воздуха, %, не более | 70 |
| Напряжение переменного тока, В | 220 |
| Частота, Гц | 50 |
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и маркировочную табличку печатным методом
Таблица 5 — Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр лазерный | U-Optics IH-Fizeau | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | — | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | — | 1 экз. |
приведены в разделе 4, «Подготовка к работе и проведение измерений» документа «Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau. Руководство по эксплуатации».
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15.12.2022 № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей»
ТУ 46.69.19-011-47957633-2025 «Интерферометры лазерные U-Optics IH-Fizeau. Технические условия»
