Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS4100-SAF, 96307-25

Назначение

Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS4100-SAF (далее -микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметра шероховатости поверхности твердотельных объектов.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на использовании диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.

Конструкция микроскопа основана на использовании методов оптической микроскопии и оптической профилометрии, где в качестве источника оптического излучения используется лазер. Результатом измерений является получение информации о линейных размерах как в плоскости XY, так и по оси Z.

В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца

(т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.

Для удобства работы в микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.

Микроскоп включает две оптические системы:

— лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,

— оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и 1.8 дюймовой 2-х мегапиксельной CCD камерой.

Конструктивно микроскоп состоит из измерительного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Измерительный блок включает в себя столик образцов, перемещаемый автоматически по осям X, Y, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.

Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Заводской номер № 7С51126 нанесен типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели измерительного блока. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.

Рисунок 1 — Общий вид микроскопа конфокального лазерного измерительного LEXT OLS4100-SAF

Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 2.

место установки шильдика с заводским номером

Рисунок 2 — Место установки шильдика с заводским номером

Программное обеспечение

Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS4100». ПО «OLYMPUS OLS4100» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности. ПО «OLYMPUS OLS4100» не может быть использовано отдельно от микроскопа.

Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1 — Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)	Значение
Идентификационное наименование ПО	OLYMPUS OLS4100
Номер версии (идентификационный номер) ПО	3.1.10

Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 — Метрологические характеристики

Наименование характеристики	Значение
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм — объектив 5* — объектив 10* — объектив 20* — объектив 50*	от 60 до 2400 от 30 до 1200 от 15 до 600 от 5 до 250
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, %	±2
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм	от 0 до 500
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L — измеряемая длина, мкм)	±(0,2+L/100)
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм	от 0,005 до 5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм (где Ra — параметр шероховатости, мкм)	±(0,003+0,06^ Ra)

Таблица 3 — Основные технические характеристики

Наименование характеристики	Значение
Габаритные размеры основных составных частей (ширина глубина высота), мм, не более: — измерительный блок — блок электроники	290390430 190480390
Масса, кг, не более — измерительный блок; — блок электроники	31 12
Условия эксплуатации: — температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более	от +18 до +22 80
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, в	от 220 до 240

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 — Комплектность средства измерений

Наименование	Обозначение	Количество
Микроскоп конфокальный лазерный измерительный	LEXT OLS4100-SAF	1 шт.
Руководство по эксплуатации	—	1 экз.
Методика поверки	—	1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в документе «Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS4100-SAF. Руководство по эксплуатации», раздел 2.3 («Проведение измерений»).

Нормативные документы

Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 г. № 2840.

Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 06.11.2019 г. № 2657.