Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200, 96530-25

Назначение

Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200 (далее — профилометры) предназначены для измерений линейных размеров рельефа поверхности объектов вдоль осей X, Y и Z и трехмерной визуализации поверхности объектов.

Описание

Профилометры относятся к классу бесконтактных оптических приборов, использующих конфокальные хроматические датчики расстояния.

Принцип действия конфокального хроматического датчика расстояния заключается в использовании специальной оптической фокусирующей системы, которая фокусирует излучение источника белого света в вертикальный световой отрезок, состоящий из непрерывной последовательности сфокусированных точек с различной длиной волны. Длина такого светового отрезка определяет диапазон измерения датчика вдоль оси Z. При отражении света от поверхности, находящейся в пределах указанного отрезка, отраженный свет имеет максимум интенсивности при некоторой длине волны, соответствующей положению данной поверхности относительно указанного светового отрезка. Раскладывая в спектр свет, отраженный от измеряемой поверхности, можно определить длину волны света, для которой интенсивность максимальна, и измерить расстояние до поверхности вдоль оси Z относительно положения фокусирующей системы прибора в плоскости XY.

Конструктивно профилометры представляют собой напольную автоматизированную измерительную систему, включающую основание с регулируемыми по высоте опорами, на котором через виброизолирующие подушки установлен оптико-механический модуль, состоящий из гранитной плиты, моторизованного предметного стола для перемещения образцов в плоскости XY и неподвижного портала, на котором жестко закреплен привод перемещения оптической головки профилометра по оси Z. Профилометр может поставляться с одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками (С1 и С2).

Серийный номер, содержащий цифровое обозначение, наносится методом цифровой лазерной печати на шильдик, который наклеивается на корпус профилометров посредством самоклеящейся пленки. Пломбировка и нанесение знака поверки на профилометры не предусмотрены.

Общий вид, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометров представлены на рисунке 1.

Рисунок 1 — Внешний вид, схема нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометра сканирующего конфокального СКОПА-200

Программное обеспечение

Управление профилометрами осуществляется с помощью специального программного обеспечения «Профилометр» (далее — ПО), установленного на персональный компьютер. ПО запускает процесс инициализации профилометра, управляет настройками профилометра, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов измерений. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.

Метрологически значимая часть ПО не выделена, все ПО является метрологически значимым.

Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1 — Идентификационные данные программного обеспечения профилометров

Идентификационные данные	Значение
Идентификационное наименование ПО	«Профилометр»
Номер версии ПО, не ниже	2.1
Цифровой идентификатор ПО	_
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО	_

Технические характеристики

Таблица 2 — Метрологические характеристики профилометров

Наименование характеристики	Значение
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мм: — для профилометра с датчиком С1 — для профилометра с датчиком С2	от 0,005 до 170,000 от 0,005 до 1,000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y для профилометров с датчиками С1 и С2, мм	±0,005
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм: — для профилометра с датчиком С1 — для профилометра с датчиком С2	от 1,0 до 1000,0 от 1,0 до 140,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z для профилометров с датчиками С1 и С2, мкм	±0,3

Таблица 3 — Основные технические характеристики профилометров

Наименование характеристики	Значение
Параметры электрического питания от сети переменного тока: — напряжение переменного тока, В	220 ± 22
— частота переменного тока, Гц	50 ± 1
Габаритные размеры, мм, не более — длина	760
— ширина	660
— высота	1400
Условия эксплуатации: — температура окружающей среды, °С	от +15 до +25
— относительная влажность воздуха, %, не более	80
— атмосферное давление, кПа	от 96 до 104

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации профилометров методом компьютерной графики и на заднюю панель профилометров методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4 — Комплектность средства измерений

Наименование	Обозначение	Количество, шт./экз.
Профилометр сканирующий конфокальный 1	СКОПА-200	1
Персональный компьютер с предустановленным программным обеспечением «Профилометр»	ПО «Профилометр»	1
Руководство по эксплуатации	ЕМВР.401141.007.001РЭ	1
Паспорт	ЕМВР.401141.007.001ПС	1
Примечание: 1 — Профилометр может комплектоваться одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками, тип и количество датчиков определяется требованиями заказчика

Сведения о методах измерений

приведены в документе ЕМВР.401141.007.001РЭ «Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Руководство по эксплуатации», п. 2 «Использование по назначению».

Нормативные документы

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 2840 от 29.12.2018 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

ЕМВР.401141.007.001ТУ Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Технические условия