Стенд для измерения поверхностного сопротивления MQL-443-H (далее — стенд) предназначен для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления функциональных слоев полупроводниковых пластин четырехзондовым методом.
Стенд для измерения поверхностного сопротивления MQL-443-H (далее — стенд) предназначен для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления функциональных слоев полупроводниковых пластин четырехзондовым методом.
В основу работы стенда положен контактный метод измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления, при котором четырехзондовая измерительная головка размещается непосредственно на поверхности образца. Принцип действия стенда основан на нахождении отношения разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырехзондовой головки, к силе электрического тока, подаваемого на два других зонда четырехзондовой головки.
Значение удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления рассчитывается автоматически с помощью программного обеспечения, исходя из измеренных значений разности потенциалов и силы электрического тока, с учетом поправочных коэффициентов.
Конструктивно стенд состоит из:
— установки с набором четырехзондовых головок типов A, B, C, E и моторизированным столом;
— персонального компьютера, монитора, специализированного программного обеспечения (в предустановленном виде);
— ламинарного бокса.
Четырехзондовые головки типов A, B, C, E отличаются радиусом скругления зондов, силой прижима и межзондовым расстоянием.
Общий вид стенда представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 — Общий вид стенда для измерения поверхностного сопротивления MQL-443-H
Пломбирование стенда не предусмотрено.
Металлическая маркировочная табличка с указанием серийного номера прикреплена к боковой стенке стенда (рисунок 2). Серийный номер нанесен методом лазерной гравировки в буквенно-цифровом формате.
Место нанесения серийного номера
Рисунок 2 — Внешний вид маркировочной таблички
Нанесение знака поверки не предусмотрено.
К данному типу относится стенд для измерения поверхностного сопротивления MQL-443-H с серийным № MTH2403A.
Идентификационные данные программного обеспечения (далее — ПО) стенда приведены в таблице 1.
ПО является неделимым и метрологически значимым. ПО защищено от преднамеренных изменений с помощью функции авторизации пользователя.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 — Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MQL-443 Four probe block resistance measuring platform |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | V2.09 (P5) |
| Цифровой идентификатор ПО | _ |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 2 — Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления, Ом | от 0,0045 до 455 000 |
| Предел допускаемого относительного среднего квадратического отклонения результата измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления, %, (n = 10)*:
— для четырехзондовых головок A, B, C — для четырехзондовой головки E |
0,5
0,2 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического
сопротивления, %: — для четырехзондовых головок A, B, C — для четырехзондовой головки E |
± 3,0
± 1,5 |
| *п — число параллельных результатов измерений. | |
Таблица 3 — Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более: — установки с моторизированным столом — ламинарного бокса | 1000х700х600 1700x1050x2200 |
| Масса, кг, не более:
— установки с моторизированным столом — ламинарного бокса |
150
330 |
Продолжение таблицы 3
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: — напряжение переменного тока, В — частота переменного тока, Гц | от 209 до 231 от 50 до 60 |
| Условия эксплуатации:
— температура окружающей среды, °C — относительная влажность воздуха, %, не более |
от +15 до +30 80 |
| Диаметр измеряемых пластин, мм | от 25 до 300 |
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Таблица 4 — Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Стенд для измерения поверхностного сопротивления: — установка с моторизированным столом | MQL-443-H _ | 1 шт. |
| — измерительные четырехзондовые головки | A, B, C, E | 4 шт. |
| — персональный компьютер, монитор, специализированное ПО (в предустановленном виде) | _ | 1 шт. |
| — ламинарный бокс | _ | 1 шт. |
| Устройство для открывания SMIF-контейнера | _ | 1 шт. |
| Источник бесперебойного питания | _ | 1 шт. |
| Компрессор вакуумный | _ | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | _ | 1 экз. |
| Методика поверки | _ | 1 экз. |
приведены в п. 4.3 «Конкретные операции» документа «Стенд для измерения поверхностного сопротивления MQL-443-H. Руководство по эксплуатации».
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30.12.2019 № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
