Назначение
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые МС (далее — течеискатель) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащей гелий.
Описание
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Принцип действия течеискателя основан на измерении ионного тока, пропорционального количеству регистрируемых течеискателем ионов гелия.
К настоящему типу средств измерений относятся течеискатели следующих исполнений: МС-4, МС-7, МС-8, МС-9.
Конструктивно течеискатель представляет собой автономный модуль в металлическом корпусе, который может быть установлен на транспортную тележку. В корпусе находятся: масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа; вакуумная система в сборе; блок управления; высоковакуумный насос ВНГТ и гелиевая течь Гелит-1, предназначенная для настройки анализатора и контроля потоков, регистрируемых течеискателем. Форвакуумный насос может быть встроен в корпус течеискателя, либо установлен на нижней полке транспортной тележки. Входной фланец на течеискателе выполнен под типовое быстроразъемное зажимное соединение DN 25 с накидным быстроразъемным хомутом KF. Входной фланец установлен снизу на правой боковой панели корпуса течеискателя для исполнения МС-4, на верхней крышке корпуса течеискателя для исполнений МС-8, МС-9. Течеискатель исполнения МС-7 может иметь присоединительные фланцы и на боковой панели корпуса течеискателя и на верхней крышке корпуса течеискателя.
Вакуумная система течеискателя соединяется с испытуемым объектом. Молекулы пробного газа, проникающие через места нарушения герметичности объекта, попадают в масс-спектрометрический анализатор и далее в камеру ионизации ионного источника. Ионы гелия ускоряются, фокусируются в скрещенных электрическом и магнитном полях и, после разделения, попадают на коллектор (мишень). При этом образуется ионный ток, пропорциональный количеству попадающих в течеискатель ионов гелия, который является критерием степени негерметичности испытуемого объекта. Ионный ток поступает на электрометрический усилитель, далее преобразуется встроенным микроконтроллером и передается на блок управления течеискателя. Значение измеряемого потока отображается на дисплее течеискателя.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью дисплея, расположенного на фронтальной панели корпуса течеискателя. В течеискателе исполнения МС-8 цифровой дисплей является выносным.
В течеискателе предусмотрены режимы измерений по входу течеискателя: «прямоток» и «противоток», переключения между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режиме. В течеискателях также реализован метод поиска течей способом щупа.
Пломбировка корпуса течеискателей не предусмотрена.
Серийный номер течеискателя наносится в виде цифрового обозначения способом цифровой печати на маркировочную табличку течеискателя, расположенную на задней панели корпуса течеискателя.
Нанесение знака поверки на корпус течеискателя не предусмотрено.
Общий вид течеискателя исполнения МС-4 представлен на рисунке 1. Общий вид течеискателей исполнения МС-7 представлен на рисунке 2. Общий вид течеискателей исполнения МС-8 представлен на рисунке 3. Общий вид течеискателей исполнения МС-9 представлен на рисунке 4. Место нанесения серийного номера и знака утверждения типа представлено на рисунках 1-4. Маркировочная табличка представлена на рисунке 5.

Место нанесения серийного номера и знака утверждения типа
Рисунок 1 — Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых МС, исполнение МС-4, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа

Рисунок 2 — Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых МС, исполнение МС-7, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа
Место нанесения серийного номера и знака утверждения типа

Рисунок 3 — Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых МС, исполнение МС-8, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа

Место нанесения серийного номера и знака утверждения
Рисунок 4 — Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых МС, исполнение МС-9, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа

НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ФИРМА
«ПРОГРЕСС»
течеискатель масс-спектрометрический гелиевый
Исполнение
Серийный номер М°
Изготовлен
MG-7 725103 15.09.25г.

Рмсия. 1В4223.г.Санкт-Петербург, LUI
просп Тореза, q.BSB, пом. 13-Н, ком. №34 I III телефакс:: B(fi12} 363-12-44 «iww.npf-pnpgreBB.ru ■
Рисунок 5 — Маркировочная табличка
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (далее — ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием либо смесью газов, содержащей гелий.
ПО течеискателей выполняет следующие функции:
— управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
— управление работой анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
— сбор, обработка, передача на устройство вывода и отображение измерительной информации;
— автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Метрологически значимой частью ПО является часть «6000», влияние метрологически значимой части ПО учтено при нормировании метрологических характеристик течеискателя.
Идентификационные данные ПО течеискателя представлены в Таблице 1.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «средний» в соответствии с Рекомендацией Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 — Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение |
| Идентификационное наименование ПО |
— |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО |
6000XX1) |
| 1) «Х» — цифровое значение, не являющееся метрологически значимой частью ПО. «Х» может принимать значения от 0 до 9 |
Технические характеристики
Таблица 2 — Метрологические характеристики
| Наименование характеристики |
Значение |
| Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с1):
— режим измерений «прямоток»
— режим измерений «противоток» |
от 1 •IO-12 до 1-10’3 от 1-10’11 до V10-3 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений потока газа в вакууме, %:
— режим измерений «прямоток»
— режим измерений «противоток» |
± (0,40 + Qнпи 2Мзм 3))-100
± 40 |
| 1) Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п. 5.2.1 ГОСТ 8.417-2024 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа;
2) ^^нпи — значение нижнего предела измерений;
3) ^^изм — значение измеренного потока. |
Таблица 3 — Технические характеристики
| Наименование характеристики |
Значение |
| Диапазон показаний потока газа методом щупа, 1кгм3/с |
от 1 • 10-9 до 1-10-2 |
| Параметры электрического питания: — напряжение переменного тока, В — частота переменного тока, Гц |
220 ± 22
50 ± 1 |
| Мощность потребления, Вт, не более |
800 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более:
— МС-4, МС-7
— МС-8
— МС-9 |
550x410x375
390x300x390
650x400x300 |
| Масса, кг, не более |
40 |
| Условия эксплуатации:
— температура окружающей среды, °С
— относительная влажность, %, не более
— атмосферное давление, кПа |
от +10 до +35 80 от 84 до 106,7 |
Таблица 4 — Показатели надежности
| Наименование характеристики |
Значение |
| Средняя наработка до отказа, ч, не менее |
15000 |
| Средний срок службы, лет |
10 |
Знак утверждения типа
наносится способом цифровой печати на маркировочную табличку течеискателя, расположенную на задней панели корпуса течеискателя.
Комплектность
Таблица 5 — Комплектность средства измерений
| Наименование |
Обозначение |
Количество |
| Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый МС |
— |
1 шт. |
| Комплект запасных частей и принадлежностей |
— |
1 шт. |
| Руководство по эксплуатации |
СКСП.171011.022-01РЭ |
1 экз. |
| Формуляр |
СКСП.26.00.00-03ФО |
1 экз. |
| Тележка транспортировочная* |
— |
1 шт. |
| Панель дистанционного управления* |
— |
1 шт. |
| Щуп* |
— |
1 шт. |
| * Предоставляются по дополнительному заказу |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 6 «Работа с течеискателем» документа СКСП.171011.022-01РЭ
«Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые МС. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования;
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности;
ТУ 4215-008-61085855-25 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые МС.
Технические условия.